Das Labor für Mikrotechnik befasst sich mit der Simulation, Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung von mikrofluidischen Systemen. Diese im Labor hergestellten Systeme finden unter anderem Ihre Anwendung in der Medizin- und Umweltanalytik. Schwerpunkt hierbei ist die optische Analytik.

Für die Herstellung der mikrofluidischen Systeme stehen verschiedene Technologien zur Verfügung. Diese sind: Mikrofräsen (≥30µm Strukturgröße), Lithographieprozesse (≥1µm Strukturgröße), Softlithographie (PDMS Abguss), Mikrosandstrahlen (Powderblasting), 3D Druck (DLP und FDM), leiterplattenbasierte Technologien (PCB MEMS). Durch verschiedene Bondprozesse werden die Fluidikchips gedeckelt oder schichtweise aufgebaut. Die Kombination von Fluidik und Optik stellt einen Kompetenzschwerpunkt dar. Für das Ankoppeln von Licht in die Kanäle stehen verschiedene Verfahren (u.a. Faseroptik) zur Verfügung.

Zur Charakterisierung der mikrofluidischen Systeme sind neben den notwendigen Pumpen (Spritzenpumpen / druckgetriebene Pumpen) zahlreiche Messmöglichkeiten vorhanden (z.B. Spektrometer, verschiedene Lichtmikroskope, Highspeed-Kamera, Elektronenstrahlmikroskop mit EDX, Konfokalmikroskop, AFM).

Geräte:

• Anlagen zur Herstellung der Mikrofluidik 
• FLOW EZ™ System zur druckbasierten Durchflussregelung der Firma Fluigent
• neMESYS Spritzenpumpen der Firma CETONI
• verschiedenste fasergekoppelte LED- und Laserquellen
• verschiedene Detektorsysteme und Spektrometer

Software zur Analyse:

• Comsol