Die Elektronenmikroskopie kommt in der Materialkunde und Qualitätskontrolle zum Einsatz und bietet die Möglichkeit unterschiedliche Proben mit einer sehr hohen Schärfentiefe und hohen Vergrößerungen zu untersuchen. Dabei werden Auflösungen bis in den nm-Bereich erzielt.

Durch die energiedispersive Röntgenanalyse kann an der Probe eine qualitative und quantitative Analyse durchgeführt werden. Die Ergebnisse werden in Spektren, Elementverteilungen und ortsaufgelösten Mapping Bildern dargestellt.

Die Proben müssen leitfähig und vakuumstabil sein, da die Untersuchung im Hochvakuum erfolgt. Nicht leitfähige Proben (z.B. Organische Proben) können durch eine Beschichtung mit einer dünnen Goldschicht leitfähig gemacht werden.

Nutzung Szenarien:

• Materialkundliche Untersuchungen und Werkstoffanalyse z.B. an Bruchflächen oder Materialien
• Qualitätskontrolle in der Fertigung
• Material-Analyse von Proben

Geräteliste:

• Rasterelektronenmikroskop Phillips XL30
• Bruker Quantax EDX Sytem mit XFlash Detektor
• Quorum Q150Tplus Hochvakuum Sputtercoater

Software:

• Bildeinzugs- und Analyse Software für die Elektronenmikroskopie
• Esprit 2 analytische Software für die Röntgenanalyse